发明名称 ION IMPLANT SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100237830(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970006792 申请日期 1997.02.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 IM, BYEONG GI;SO, CHANG EOB
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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