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发明名称 Foerfarande foer etsning av oeppning
摘要
申请公布号 SE512041(C3) 申请公布日期 2000.01.17
申请号 SE19980001575 申请日期 1998.05.06
申请人 LAURELL THOMAS;NILSSON JOHAN;WALLMAN LARS;DROTT JOHAN 发明人 LAURELL THOMAS;DROTT JOHAN;NILSSON JOHAN;WALLMAN LARS
分类号 B41J2/16;C23F1/02;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 B41J2/16
代理机构 代理人
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