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发明名称 MAMUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE PHASE INVERSION MASK
摘要
申请公布号 KR100238196(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19920023140 申请日期 1992.12.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 UOO, SANG KYUN;MOON, SUNG YONG
分类号 H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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