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发明名称 Method for cleaning inner surface of a semiconductor fabricating machine
摘要
申请公布号 GB2339001(A) 申请公布日期 2000.01.12
申请号 GB19990012718 申请日期 1999.06.01
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 YASUSHI * SASAKI
分类号 B08B9/027;B08B7/00;B08B9/00;B08B9/02;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/304;(IPC1-7):B08B9/00 主分类号 B08B9/027
代理机构 代理人
主权项
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