| 发明名称 |
SOI WAFER AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11354760(A) |
申请公布日期 |
1999.12.24 |
| 申请号 |
JP19980156088 |
申请日期 |
1998.06.04 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAGANO DENSHI KOGYO KK |
发明人 |
NAKANO MASATAKE;YOSHIZAWA KATSUO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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