发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11352135(A) |
申请公布日期 |
1999.12.24 |
申请号 |
JP19980156111 |
申请日期 |
1998.06.04 |
申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC |
发明人 |
MIYATANI TATSUYA;NAKAJIMA KUNIO;KAYANE KAZUO;SAKUHARA TOSHIHIKO;ATAKA TATSUAKI;FUJIHIRA MASAMICHI |
分类号 |
G01B11/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/34;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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