发明名称 INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11352135(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980156111 申请日期 1998.06.04
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC 发明人 MIYATANI TATSUYA;NAKAJIMA KUNIO;KAYANE KAZUO;SAKUHARA TOSHIHIKO;ATAKA TATSUAKI;FUJIHIRA MASAMICHI
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/34;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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