| 发明名称 |
ETCHING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100234539(B1) |
申请公布日期 |
1999.12.15 |
| 申请号 |
KR19960070900 |
申请日期 |
1996.12.24 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
PARK, CHUL-KYU |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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