| 发明名称 |
FORMATION OF DEPOSITED FILM AND DEPOSITED FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11343575(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
| 申请号 |
JP19980164336 |
申请日期 |
1998.05.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OTSUKA TAKASHI;AKIYAMA KAZUYOSHI;SHIRASAGO TOSHIYASU;MURAYAMA HITOSHI;HOSOI KAZUTO;OKAMURA TATSUJI |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/50;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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