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发明名称 ROTARY HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH11330105(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980129204 申请日期 1998.05.12
申请人 NIPPON SANSO KK 发明人 ECHIGOSHIMA MAKOTO
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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