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发明名称
INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11329646(A)
申请公布日期
1999.11.30
申请号
JP19980133522
申请日期
1998.05.15
申请人
JSR CORP
发明人
SEDAKA RYOJI;YAMADA ONORI;INABA JUNICHIRO
分类号
G01R31/26;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01R33/76
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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