| 发明名称 |
LIQUID RAW MATERIAL SUPPLY DEVICE FOR CVD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11323558(A) |
申请公布日期 |
1999.11.26 |
| 申请号 |
JP19980130828 |
申请日期 |
1998.05.13 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD;CHUBU ELECTRIC POWER CO INC |
发明人 |
ONABE KAZUNORI;SADAKATA NOBUYUKI;SAITO TAKASHI;NAGAYA SHIGEO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01B13/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
