FOCUSED ION BEAM FORMING METHOD

摘要

필름 형성 가스가 도입되고 필름을 형성하기 위해 집속 이온 빔이 주사될 경우, 필름 폭에 관계없이 그에 상당한 필름 두께를 유지하도록 필름 형성 처리 도중에, 주사 영역이 축소되고, 이온 빔 주사 도중에, 필름 형성 가스를 충분히 공급하기 위해, 일정한 타이밍으로 이온 빔에 대하여 블랭킹(blanking)을 달성하기 위한 방법으로 필름이 형성된다.