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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR SPUTTERING WITH ROTATING MAGNET SPUTTER SOURCES
摘要
申请公布号 EP0958398(A1) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 EP19970943367 申请日期 1997.10.01
申请人 INTEVAC, INC. 发明人 KOLENKOW, ROBERT, J.
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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