| 发明名称 |
SUPPORTING SHEET FOR SPIN-ETCHING SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11297645(A) |
申请公布日期 |
1999.10.29 |
| 申请号 |
JP19980104538 |
申请日期 |
1998.04.15 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
IMAIZUMI JUNICHI;HIMORI KOJI;SUZUKI MASAKATSU;SAKUMA KAZUNORI;TAKAHASHI HIROAKI |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J121/00;C09J133/00;C09J183/04;C09J201/00;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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