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发明名称 CHARGED PARTICLE PLOTTER
摘要
申请公布号 JPH11297265(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980092988 申请日期 1998.04.06
申请人 NATL RES INST FOR METALS;APUKO:KK 发明人 EGASHIRA MITSURU;SHINTANI NORIO;SAITO SHUICHI
分类号 B25H7/04;H01J37/244;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305;H01L21/306 主分类号 B25H7/04
代理机构 代理人
主权项
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