发明名称 |
MULTILAYER WIRING CONNECTION STRUCTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11297826(A) |
申请公布日期 |
1999.10.29 |
申请号 |
JP19980101066 |
申请日期 |
1998.04.13 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKADA KATSUYA;HIGASHIYA KEIICHI |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|