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发明名称 Verfahren zur Herstellung kristalliner Artikel
摘要
申请公布号 DE3856363(D1) 申请公布日期 1999.10.28
申请号 DE19883856363 申请日期 1988.01.25
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MIZUTANI, HIDEMASA
分类号 C30B25/18;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/31 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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