| 发明名称 |
REGENERATION TREATMENT APPARATUS FOR ETCHANT AND ETCHING APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11293479(A) |
申请公布日期 |
1999.10.26 |
| 申请号 |
JP19980095836 |
申请日期 |
1998.04.08 |
| 申请人 |
NISSO ENGINEERING KK |
发明人 |
KOBAYASHI NORIYUKI;YONETANI AKIRA |
| 分类号 |
C23F1/08;C23F1/46;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/46 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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