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发明名称
IMPROVED DEVICE INTERCONNECTION
摘要
<p>본 발명은 개선된 신뢰성을 가지는 집적 회로 소자를 상호 접속시키기 위한 도체에 관한 것이다. 상기 도체는 적어도 도체의 3개 표면을 둘러싸는 라이너를 포함하고, 적은 텍스쳐 도체를 형성한다. 적은 텍스쳐 도체는 개선된 전기적 이동 수명을 초래한다는 것을 알았다.</p>
申请公布号
KR19990078431(A)
申请公布日期
1999.10.25
申请号
KR19990011141
申请日期
1999.03.31
申请人
null, null;null, null
发明人
크리벵거,로렌스에이;필리피,로널드지;호인키스,마크;허드,제퍼리엘;이걸든,로이씨;팔름,헤르베르트;포잇츨베르거,한스베;로드벨,케니쓰피;슈나벨,플로리안;베버,슈테판;메터,에브라힘에이
分类号
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/532
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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