| 发明名称 |
APPARATUS FOR SEPARATION AND TREATMENT OF MEMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11288859(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980088970 |
申请日期 |
1998.04.01 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SAKAGUCHI KIYOBUMI;OMI KAZUAKI;YANAGIDA KAZUTAKA;YONEHARA TAKAO;TSUGAWA TOSHIICHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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