| 主权项 |
1.一种磁性运送装置,属于具备附设于可互相地隔 离且打开连结部相连结之至少两个腔,而且通过上 述两个腔中运送移动体之运送路,在上述运送路有 过渡部分形成在上述腔之间,且对应于上述腔而用 以移动上述移动体之驱动装置部,构与一上述腔独 立地设置的磁性运送装置,其特征为: 上述驱动装置部系由在轴方向至少分成两半的第1 分割部与第2分割部所构成,上述第1分割部系固定 在轴心构件,而上述第2分割部系安装于上述轴心 构件成为在旋转方向被限制且在上述轴方向以一 定宽度自由地移动,在上述第1分割部与上述第2分 割部之各该表面具备至少一组以上之螺旋状磁性 结合部以相同条件所形成的旋转驱动构件; 上述移动体系移动自如地设在上述轴方向成为从 上述旋转驱动构件之上述表面通过一定距离之部 位,而在面临于上述旋转驱动构件之上述表面之部 分使用与上述螺旋状磁性结合部之螺距相同距离 之间隔设有磁性结合部, 以上述旋转驱动构件之旋转动作直线地移动上述 移动体者。2.如申请专利范围第1项所述之磁性运 送装置,其中,上述第2分割部系经由键连结于上述 轴心构件且以螺旋弹簧蓄势弹压向上述第1分割部 侧,而且以形成于上述轴心构件之止动件施以定位 者。3.如申请专利范围第1项所述之磁性运送装置, 其中,上述第2分割部与上述轴心构件系以栓槽构 造相连结者。4.如申请专利范围第1项所述之磁性 运送装置,其中,上述旋转驱动构件之上述螺旋状 磁性结合部系交互地配置N极与S极的磁铁排列;上 述移动体之上述磁性结合部系交互地配置N极与S 极之磁铁排列者。5.如申请专利范围第1项所述之 磁性运送装置,其中,上述旋转驱动构件之上述螺 旋状磁性结合部系以强磁性材料部所形成;上述移 动体之上述磁性结合部系交互地配置N极与S极之 磁铁排列者。6.如申请专利范围第1项所述之磁性 运送装置,其中,上述第2分割部以上述一定宽度内 位于最接近于上述第1分割部之位置时,上述旋转 驱动构件系被视作包括在上述第1分割部与上述第 2分割部的间隙的一件旋转驱动构件,连续形成有 上述螺旋状磁性结合部者。7.如申请专利范围第1 项所述之磁性运送装置,其中,上述第2分割部之活 动范围系与上述螺距同等以上且其两倍以下者。8 .如申请专利范围第1项所述之磁性运送装置,其中, 上述旋转驱动构件系配置在大气侧,而上述移动体 系配置于从大气被隔离之部位者。9.如申请专利 范围第8项所述之磁性运送装置,其中,从大气被隔 离之上述部位系真空气氛者。10.如申请专利范围 第1项所述之磁性运送装置,其中,在上述第1分割部 与上述第2分割部之间的关系,设有将动力从驱动 装置传动至上述旋转驱动构件的动力传动部者。 11.如申请专利范围第10项所述之磁性运送装置,其 中,上述动力传动部系以斜齿轮机构所构成者。12. 一种磁性运送装置之动力传动机构,系由对应设于 腔,在轴方向至少分成两半而形成有第1分割部与 第2分割部,上述第1分割部系固定在轴心构件,而上 述第2分割部系安装于上述轴心构件成为在旋转方 向被限制且在上述轴方向以一定宽度自由地移动, 在上述第1分割部与上述第2分割部之各该表面具 备至少一组以上之螺旋状磁性结合部以相同条件 所形成的旋转驱动构件; 移动自如地设在上述轴方向成为从上述旋转驱动 构件之上述表面通过一定距离之部位,而在面临于 上述旋转驱动构件之上述表面之部分使用与上述 螺旋状磁性结合部之螺距相同距离之间隔设有磁 性结合部的移动体所构成的磁性运送装置,其特征 为: 在上述旋转驱动构件之上述第1分割部与上述第2 分割部之间设置动力传动部,将来自驱动装置之动 力经由上述动力传动部给与上述旋转驱动构件,将 上述旋转驱动构件施以旋转能直线地移动上述移 动体者。13.如申请专利范围第12项所述之磁性运 送装置之动力传动机构,其中上述第2分割部系经 由键连结于上述轴心构件且以螺旋弹簧蓄势弹压 向上述第1分割部侧,而且以形成于上述轴心构件 之止动件施以定位者。14.如申请专利范围第12项 所述之磁性运送装置之动力传动机构,其中,上述 第2分割部与上述轴心构件系以栓槽构造相连结者 。15.如申请专利范围第12项所述之磁性运送装置 之动力传动机构,其中,上述旋转驱动构件之上述 螺旋状磁性结合部系交互地配置N极与S极的磁铁 排列;上述移动体之上述磁性结合部系以高导磁数 材料部所形成者。16.如申请专利范围第12项所述 之磁性运送装置之动力传动机构,其中,上述旋转 驱动构件之上述螺旋状磁性结合部系交互地配置N 极与S极的磁铁排列;上述移动体之上述磁性结合 部系交互地配置N极与S极之磁铁排列者。17.如申 请专利范围第12项所述之磁性运送装置之动力传 动机构,其中,上述第2分割部以上述一定宽度内位 于最接近于上述第1分割部之位置时,上述旋转驱 动构件系被视作包括在上述第1分割部与上述第2 分割部的间隙的一件旋转驱动构件,连续形成有上 述螺旋状磁性结合部者。18.如申请专利范围第12 项所述之磁性运送装置之动力传动机构,其中,上 述第2分割部之活动范围系与上述螺距同等以上且 其两倍以下者。19.如申请专利范围第12项所述之 磁性运送装置之动力传动机构,其中,上述动力传 动部系以斜齿轮机构所构成者。20.如申请专利范 围第12项所述之磁性运送装置之动力传动机构,其 中,上述旋转驱动构件与上述动力传动部系配设于 覆盖于隔间壁之室内,上述移动体所存在之空间系 被隔离者。21.如申请专利范围第12项所述之磁性 运送装置之动力传动机构,其中,上述旋转驱动构 件系配置在大气侧,而上述移动体系配置于从大气 被隔离之部位者。22.如申请专利范围第21项所述 之磁性运送装置,其中,从大气被隔离之上述部位 系真空气氛者。23.一种磁性运送装置之旋转驱动 构件,属于移动自如地设在直线方向,对于磁性结 合部形成在对向面的移动体,隔着一定距离且平行 地配置在上述直线方向,而且螺旋状磁性结合部形 成在其表面的旋转驱动构件,上述磁性结合部系具 有与上述螺旋状磁性结合部分之螺距相同距离之 间隔,藉由本身旋转向上述直线方向移动上述移动 体的上述旋转驱动构件,其特征为: 具备在轴方向至少分成两半的第1分割部与第2分 割部,上述第1分割部系固定在轴心构件,而上述第2 分割部系安装于上述轴心构件成为在旋转方向被 限制且在上述轴方向以一定宽度自由地移动,在上 述第1分割部与上述第2分割部之各该表面具备至 少一组以上之螺旋磁性结合部以相同条件所形成 的旋转驱动构件。24.如申请专利范围第23项所述 之磁性运送装置之旋转驱动构件,其中,上述第2分 割部系经由键连结于上述轴心构件且以螺旋弹簧 蓄势弹压向上述第1分割部侧。而且以形成于上述 轴心构件之止动件施以定位者。25.如申请专利范 围第23项所述之磁性运送装置之旋转驱动构件,其 中,上述第2分割部与上述轴心构件系以栓槽构造 相连结者。26.如申请专利范围第23项所述之磁性 运送装置之旋转驱动构件,其中,上述旋转驱动构 件之上述螺旋状磁性结合部系交互地配置N极与S 极的磁铁排列;上述移动体之上述磁性结合部系以 高导磁数材料部所形成者。27.如申请专利范围第 23项所述之磁性运送装置之旋转驱动构件,其中,上 述旋转驱动构件之上述螺旋状磁性结合部系以强 磁性材料部所形成;上述移动体之上述磁性结合部 系交互地配置N极与S极之磁铁排列者。28.如申请 专利范围第23项所述之磁性运送装置之旋转驱动 构件,其中,上述第2分割部以上述一定宽度内位于 最接近于上述第1分割部之位置时,上述旋转驱动 构件系被视作包括在上述第1分割部与上述第2分 割部的间隙的一件旋转驱动构件,连续形成有上述 螺旋状磁性结合部者。29.如申请专利范围第23项 所述之磁性运送装置之旋转驱动构件,其中,上述 第2分割部之活动范围系与上述螺距同等以上且其 两倍以下者。30.如申请专利范围第23项所述之磁 性运送装置之旋转驱动构件,其中,在上述第1分割 部与上述第2分割部之间的间隙,设有传动来自驱 动装置之动力的动力传动机部者。31.如申请专利 范围第30项所述之磁性运送装置之旋转驱动构件, 其中,上述动力传动部系以斜齿轮机构所构成者。 32.一种磁性运送装置,属于具备附设于可互相地隔 离且打开连结部相连结之至少两个腔,而且通过上 述两个腔中运送移动体之运送路,在上述运送路有 过渡部分形成在上述腔之间,且对应于上述腔而用 以移动上述移动体之驱动装置部,构与一上述腔独 立地设置的磁性运送装置,其特征为: 上述驱动装置部系经由键连结于轴心构件且以螺 旋弹簧蓄势弹压至其中一方侧而且以形成在上述 轴心构件之止动件施以定位,由此安装于上述轴心 构件成为在旋转方向被限制且在上述轴方向以一 定宽度自由地移动,又在其表面具备至少一组以上 之螺旋状磁性结合部以相同条件所形成的旋转驱 动构件, 上述移动体系移动自如地设在上述轴方向成为从 上述旋转驱动构件之上述表面通过一定距离之部 位,而在面临于上述旋转驱动构件之上述表面之部 分使用与上述螺旋状磁性结合部之螺距相同距离 之间隔设有磁性结合部, 以上述旋转驱动构件之旋转动作直线地移动上述 移动体者。33.如申请专利范围第32项所述之磁性 运送装置,其中,上述旋转驱动构件之上述螺旋状 磁性结合部系交互地配置N极与S极的磁铁排列;上 述移动体之上述磁性结合部系以高导磁数材料部 所形成者。34.如申请专利范围第32项所述之磁性 运送装置,其中,上述旋转驱动构件之上述螺旋状 磁性结合部系以强磁性材料部所形成;上述移动体 之上述磁性结合部系交互地配置N极与S极之磁铁 排列者。图式简单说明: 第一图系表本发明之磁性运送装置所适用的负载 锁定型真空处理装置之整体构成的概念图。 第二图系表示真空处理装置之内部构造的斜视图 。 第三图系表示驱动轴的正面图。 第四图系表示固定驱动轴与滑件之关系的平面图 。 第五图a系表示驱动轴间之托架交接动作之初期状 态的平面图。 第五图b系表示驱动轴间之托架交接动作之刚进行 前之状态的平面图。 第五图c系表示驱动轴间之托架交接动作之刚进行 后之状态的平面图。 第五图d系表示驱动轴间之托架交接动作之完成状 态的平面图。 第六图系表示具备动力传动部之驱动轴的平面图 。 第七图系表示具备动力传动部之驱动轴与滑件之 关系的平面图。 第八图a系表示驱动轴间之托架交接动作之初期状 态的平面图。 第八图b系表示驱动轴间之托架交接动作之刚进行 前之状态的平面图。 第八图c系表示驱动轴间之托架交接动作之刚进行 后之状态的平面图。 第八图d系表示驱动轴间之托架交接动作之完成状 态的平面图。 第九图系表示具备动力传动部之驱动轴之设置例 的平面图。 第十图系表示驱动轴之其他例的正面图。 第十一图系表示于第十图之驱动轴之活动驱动轴 的纵剖面图。 第十二图系表示第十一图的A-A线剖面图。 第十三图系表示第十一图的B-B线剖面图。 第十四图系表示具备动力传动部之驱动轴之其他 例的平面图。 第十五图系表示制作在分成两半之各驱动轴之磁 极的图式。 第十六图系表示活动驱动轴与轴心部之连结的一 例之栓槽构造之要部的图式。 |
