发明名称 DEPOSITED FILM FORMING APPARATUS AND ELECTRODE FOR USE IN IT
摘要
申请公布号 KR100222807(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19950056931 申请日期 1995.12.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 AOIKE, TATSUYUKI
分类号 G03G5/08;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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