| 发明名称 |
A POWER SUPPLY OF FOCUS ION BEAM APPARATUS USED IN SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100217501(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.01 |
| 申请号 |
KR19970000055 |
申请日期 |
1997.01.04 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
JEON, SANG-YOUNG |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
