发明名称 INSPECTION DEVICE OF MULTI-PIN DEVICE BY PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH11260869(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980057204 申请日期 1998.03.09
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHIMIZU TOSHIO
分类号 G01R31/28;G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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