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发明名称 Novolakharze und daraus hergestellte Positiv-Fotoresists
摘要
申请公布号 DE69130745(T2) 申请公布日期 1999.09.16
申请号 DE19916030745T 申请日期 1991.02.01
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., TORTOLA 发明人 LAZARUS, RICHARD M.;KAUTZ, RANDALL;DIXIT, SUNIT S.
分类号 C08G8/04;C08G8/28;G03C1/00;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 C08G8/04
代理机构 代理人
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