发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING POWDER TO SENSITIVE DC SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH11243685(A) 申请公布日期 1999.09.07
申请号 JP19970166421 申请日期 1997.06.23
申请人 ADVANCED ENERG IND INC 发明人 DRUMMOND GEOFFREY N
分类号 H02M3/28;C23C14/38;C23C14/54;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/302;H02M3/22;H02M9/06;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H02M3/28 主分类号 H02M3/28
代理机构 代理人
主权项
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