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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH11238721(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980040299 申请日期 1998.02.23
申请人 NEC CORP 发明人 HIRATA TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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