| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE, MANUFACTURE THEREOF AND PROTECTIVE SHEET USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11238856(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980040252 |
申请日期 |
1998.02.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMASHITA MASAYUKI;KAWAMURA HIDEYOSHI;AKAI KIYOTAKA |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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