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经营范围
发明名称
Trockenätzen mit Wasserstoffbromid oder Brom
摘要
申请公布号
DE68928977(T2)
申请公布日期
1999.08.19
申请号
DE19896028977T
申请日期
1989.02.08
申请人
FUJITSU LTD.
发明人
NAKAMURA, MORITAKA;KURIMOTO, TAKASHI;IIZUKA, KATSUHIKO
分类号
H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/31;C23F1/12
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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