| 发明名称 |
CHAMFER POLISHING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11221744(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980027623 |
申请日期 |
1998.02.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
YANOO AKIHITO;MUNEZANE KENJI |
| 分类号 |
B24B9/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/00 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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