| 发明名称 |
LIQUID CHEMICAL PROCESSING METHOD AND LIQUID CHEMICAL PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11224871(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980067433 |
申请日期 |
1998.03.17 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
HASE USHIO;YAMAMOTO KENICHI;NAKAMURA AKINOBU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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