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发明名称 Projektionsbelichtungsgerät und -verfahren
摘要
申请公布号 DE4301716(C2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19934301716 申请日期 1993.01.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OSHIDA, YOSHITADA, FUJISAWA, JP;TAWA, TUTOMU, KATSUTA, JP;SHIBATA, YUKIHIRO, YOKOHAMA, JP;ISHII, SHIGEMI, IBARAKI, JP;NOGUCHI, MINORI, YOKOHAMA, JP;TERASAWA, TSUNEO, OME, JP;MURAYAMA, MAKOTO, FUJISAWA, JP
分类号 F21V8/00;F21V13/12;F21Y105/00;G02B6/04;G02B6/28;G02B6/42;G03B27/54;G03F7/20;G21K5/04;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 F21V8/00
代理机构 代理人
主权项
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