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发明名称 BPSG FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100214073(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950050997 申请日期 1995.12.16
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, IN-OK;JUNG, YOUNG-SUK;KIM, EUI-SIK
分类号 H01L21/316;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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