申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
UEHARA, KATSUHIRO, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;ENDO, MIKIO, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;ARAKI, HITOYUKI, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;ARAI, TAKEO, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;KAWASE, YASUHIRO, NO. 106, SHIN-ETSU KAGAKU, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP |