| 主权项 |
1.一种评估个别产品之批次化执行的生产程序上 的量测程 序之方法,包含评估附属于该程序的归纳量测的不 确定性 ,包含下列之步骤:周期性的从批次中选出产品项 目;重 复地存取所选出的每个项目,而在每个存取中对此 项目执 行一预定的参数测量,该参数系有关于每个项目的 一或多 个选定参数,俾从相关的参数测量计算一项目分布 値;根 据与相同参数有关之一群该等项目的第一静态化 的项目分 布値产生关于第一确信水准之批次分布値;根据一 群批次 上的第二静态化批次分布値以执行统计程序控制 。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该第一静态 化在一 群该等项目的起始静态化项目分布値之后,相关于 以第二 确信水准产生子批次分布値的该等批次的子批次 中相同的 参数。3.如申请专利范围第2项之方法,其中该子批 次为一积体 电路生产晶片。4.如申请专利范围第1.2或3项之方 法,其中该项目被机 械式的释放并针对相同参数的测量对之间做评估 。5.如申请专利范围第1.2或3项之方法,其中每一项 目的 参数被实际测量两次。6.如申请专利范围第1.2或3 项之方法,其中每个参数的 测量伴随着关注产品项目的通过-失败决定。7.一 种评估对于批次化执行的个别产品生产程序的测 量程 序之系统,其包含评估一附属于该程序的归纳量测 不确定 性,该系统包含:输入装置,以周期性的从批次中选 出产 品项目;存取及测量装置,来重复地存取所选定的 每个项 目,在每个这样的存取中对此项目执行一预定的参 数测量 ;计算装置,以每个项目的相关一或多个选定参数, 从相 关的参数测量计算一项目分布値;第一静态化装置 ,由该 计算装置馈送静态化一群相同的参数之该等项目 之项目分 布値,在这样的批次中产生一与第一确信水准相关 批次分 布値;第二静态化装置,由该第一静态化装置馈送 以静态 化在一群批次上的批次分布値;统计程序控制装置 ,由该 第二静态化装置馈送,以在静态化的批次分布値基 础上执 行统计处理控制。图式简单说明:第一图,根据本 发明的 装置设定;第二图,测量参数値;第三图,测量的重复 値 ;第四图,程序的产品及资讯流程;第五图,测量参数 Pi 的信号流;第六图,测试程序的监视Pi;及第七图,测 量 的阶层结构。 |
