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经营范围
发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11195499(A)
申请公布日期
1999.07.21
申请号
JP19970368308
申请日期
1997.12.29
申请人
ANELVA CORP
发明人
TAKAGI KENICHI;NAKAGAWA KOJIN
分类号
H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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