| 发明名称 |
Semiconductor device transporting and handling apparatus |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG66390(A1) |
申请公布日期 |
1999.07.20 |
| 申请号 |
SG19970003009 |
申请日期 |
1997.08.21 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORPORATION. |
发明人 |
KANNO YUKIO;KIYOKAWA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
B25J13/00;B23Q15/24;H01L21/50;H05K13/02;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68;B65G49/05 |
主分类号 |
B25J13/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
