发明名称 CHAMBER FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR200151989(Y1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19960036616U 申请日期 1996.10.31
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 DO, KI-CHEOL
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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