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发明名称 FORMING METHOD OF METAL WIRING
摘要
申请公布号 JPH11191539(A) 申请公布日期 1999.07.13
申请号 JP19980177120 申请日期 1998.06.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NOMA TAKASHI
分类号 H01L21/285;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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