发明名称 CMOS polycide dual gate structure
摘要
申请公布号 GB2332984(A) 申请公布日期 1999.07.07
申请号 GB19980028854 申请日期 1998.12.31
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人 KYU-CHUL * CHONG;HEON-JONG * SHIN
分类号 H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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