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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR SUPPORTING LENS AND PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH11149029(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970332324 申请日期 1997.11.18
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIBAZAKI YUICHI
分类号 G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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