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发明名称 SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH11145056(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970305552 申请日期 1997.11.07
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI;IKEDA YUJI
分类号 C30B29/04;C30B29/06;C30B29/08;H01L21/20;H01L21/205;H01L29/04;H01L29/16;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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