发明名称 PLASMA ION SOURCE MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 JPH11144672(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970306799 申请日期 1997.11.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUMOTO TOYOJI;OWADA AKIRA;TSUKADA MASAMICHI
分类号 G01N27/62;H01J49/04;H01J49/10;(IPC1-7):H01J49/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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