发明名称 METHOD FOR SIMPLIFYING THE MANUFACTURE OF AN INTERLAYER DIELECTRIC STACK
摘要
申请公布号 EP0909461(A1) 申请公布日期 1999.04.21
申请号 EP19970915877 申请日期 1997.03.07
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 KEPLER, NICK
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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