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发明名称 Resistmaterial, Methode zu seiner Herstellung und Verfahren zum Herstellen von Resistbildern mit diesem Material
摘要
申请公布号 DE69130966(D1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 DE19916030966 申请日期 1991.07.04
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TANAKA, AKINOBU, KANAGAWA, JP;BAN, HIROSHI, ATSUGI-SHI, KANAGAWA, JP;NAKAMURA, JIRO, ISEHARA-SHI, KANAGAWA, JP;KIMURA, TAKAO, MITO-SHI, IBARAKI, JP;KAWAI, YOSHIO, ISEHARA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
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