发明名称 Interferometer für die Prüfung optischer Elemente
摘要
申请公布号 DE4427317(C2) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 DE19944427317 申请日期 1994.08.02
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 ENDLICHER, WALTER, DIPL.-ING., 07751 GROSLOEBICHAU, DE;HOLOTA, WOLFGANG, DR.RER.NAT., 07745 JENA, DE;HOLOTA, KARIN, DIPL.-PHYS., 07745 JENA, DE;HEISE, JUERGEN, DIPL.-PHYS., 07745 JENA, DE
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01M11/02;G02B27/00;G02B5/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
地址