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发明名称
PRESSURE GAUGE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号
EP0874979(A4)
申请公布日期
1999.03.31
申请号
EP19960943556
申请日期
1996.12.03
申请人
DRESSER INDUSTRIES INC.
发明人
FERGUSON, WALTER, J.
分类号
G01L7/04;G01L19/06;(IPC1-7):G01L7/04
主分类号
G01L7/04
代理机构
代理人
主权项
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