| 发明名称 |
PRECISION POLISHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1177504(A) |
申请公布日期 |
1999.03.23 |
| 申请号 |
JP19970261033 |
申请日期 |
1997.09.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KOSAKAI TAKASHI;MURASUGI YOSHINORI;KOIBUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
B24B13/00;B24B13/02;B24B41/06;(IPC1-7):B24B13/02 |
主分类号 |
B24B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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