METHOD FOR ELIMINATING FIRST, SECOND AND THIRD-ORDER AXIAL IMAGE DEFORMATIONS DURING CORRECTION OF THE THIRD-ORDER SPHERICAL ABERRATION IN ELECTRON OPTICAL SYSTEMS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beseitigung axialer Bildfehler alpha <n> in elektronenoptischen Systemen, wobei der ausseraxialen Bildfehler der Ordnung n+m mit gleichem Verhalten in alpha <n>, demnach also in der Form alpha <n> gamma <m>, durch Verschieben oder Verkippen des Strahlenganges zur optischen Achse soweit verändert wird, bis eine Kompensation des axialen Bildfehlers eintritt, wobei gamma die ausseraxiale Bildkoordinate als komplexe Zahl in beiden Schnitten beschreibt. Weiter wird ein Justierverfahren zur Beseitigung aller axialer Bildfehler erster, zweiter und dritter Ordnung bei Korrektur des Öffnungsfehlers dritter Ordnung in elektronenoptischen Systemen mit Hexapolen angegeben.