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发明名称 Device for intermediate storage of wafers
摘要
申请公布号 AU8725198(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 AU19980087251 申请日期 1998.08.24
申请人 STAUBLI AG PFAFFIKON 发明人 CHRISTIAN BALG;BERNHARD STRASSER;JAKOB BLATTNER
分类号 B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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